Чрезвычайно малый размер позволяет использовать MEMS в различных миниатюрных устройствах, начиная от механических часов и заканчивая имплантатами для человека. Самым распространенным МЭМС-устройством является акселерометр. Акселерометр – это прибор для измерения ускорения в одном или нескольких направлениях. Микроакселерометры можно определить, как акселерометры, созданные при помощи технологий микроэлектроники и являющихся МЭМС. Его характерной особенностью является малый размеры – не более нескольких десятков миллиметров.
Наиболее распространенными применениями акселерометров являются: мобильные телефоны, автомобильное производство, элементы компьютерной техники, игровые консоли и т.д.
Принцип работы акселерометров основан на измерении смещения инерционной массы относительно корпуса и преобразовании его в пропорциональный электрический сигнал.
Емкостной метод преобразования измеренного перемещения является наиболее точным и надежным, поэтому емкостные акселерометры получили широкое распространение.Структура емкостного акселерометра состоит из различных пластин, одни из которых являются стационарными, а другие свободно перемещаются внутри корпуса. Между пластинами образуется конденсатор, величина емкости которого зависит от расстояния между
пластинами. Под влиянием силы ускорения емкость конденсатора меняется.
Современные интегральные датчики изготавливаются на кристалле кремния по технологии iMEMS (integrated Micro Electro Mechanical System). Структура датчика представляет собой кремниевую подложку, на которой расположен чип датчики и схема усиления сигнала.
Рассмотрим подробнее конструкцию простейшего осевого микроакселерометра. Его принципиальная схема приведена на рисунке. Чувствительный элемент (ЧЭ) включает в себя инерционную массу (ИМ) 1, упругие элементы подвеса 2, опорную рамку 3.
ЧЭ имеет две пары упругих элементов, крестообразно расположенных вдоль осей x, z.Начало осей x, z находится в геометрическом центре пластин ИМ. Ось чувствительности – ось y.

По виду движений ИМ акселерометры делятся на осевые и маятниковые. В осевых акселерометрах конструкция упругого подвеса обеспечивает прямолинейное движение ИМ, а в маятниковых – угловое. Маятниковые акселерометры называют также угловыми или балочными. По виду преобразования энергии акселерометры подразделяются на: емкостные,
пьезорезистивные, пьезоэлектрические и тепловые.По принципу измерения акселерометры делятся на приборы прямого и
компенсационного измерения (преобразования).