Чрезвычайно малый размер позволяет использовать MEMS в различных миниатюрных устройствах, начиная от механических часов и заканчивая имплантатами для человека. Самым распространенным МЭМС-устройством является акселерометр. Акселерометр – это прибор для измерения ускорения в одном или нескольких направлениях. Микроакселерометры можно определить, как акселерометры, созданные при помощи технологий микроэлектроники и являющихся МЭМС. Его характерной особенностью ... Читать дальше »